全部產品介紹

Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。 一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客製化夾盤，樣品直徑可達450毫米。 （耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測！）
測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創造自己的測繪方法，並且不受測量點數量的限制。 內建數十種預定義的測繪圖案。
不同的 F50 儀器是根據波長範圍來加以區分的。 標準的 F50是最受歡迎的產品。 一般較短的波長 （例如， F50-UV） 可用於測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

Filmetrics F54 系列的產品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度， 樣品直徑達450毫米
可選擇數十種內建之同心圓，矩形，或線性圖案模式，或自行建立無數量限制之測量點. 僅需具備基本電腦技能的任何人可在數分鐘內自行建立配方
F54 自動化薄膜測繪只需聯結裝置到您運行Windows™系統電腦的USB埠， 可在幾分鐘輕鬆設置
不同的型號主要是由厚度和波長範圍作為區別。 通常較薄的膜需要較短波長作測量（如F54-UV） 用來測量較薄的膜，而較長的波長可以用來測量更厚，更粗糙，或更不透明的薄膜

F54-XY擁有先進的反射光譜儀系統，可輕鬆實現對最大300mm晶圓樣品的膜厚測量。
F54-XY-200型膜厚儀可測量最大尺寸200mm的樣品，電動XY載台可實現預選點位的自動測量，測量速度最高可達每秒2個視場點。
F54-XYT-300型膜厚儀具備高性能旋轉樣品台，可實現對300mm晶圓樣品的測量。
系統內置極座標、矩形陣列、直線等多種點位圖形，使用者也可自定義創建測量點陣，且無最多測量點數的限制。
模式識別功能可滿足陣列式或非陣列式晶圓的測量需求。
F54-XY系列不同機型的主要區別在於待測薄膜的厚度和光源波段。 一般情況下，待測膜厚越小，則需使用更短波長的光源進行測量（如 F54-XY-200-UV），反之長波光源則可以滿足更厚、粗糙或透明度更低的薄膜厚度測量需求。