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SQ VertiCoat 高性能 SU-8 環氧負型光阻

SQ VertiCoat 高性能 SU-8 環氧負型光阻

膜厚： 2 – 120um
應用： Micromachining、Microfluidics、MEMS、適合需要高精度、垂直側壁結構的製程
可取代： SU-8 3000 系列 (SQ VertiCoat 是 SU-8 的進階版本，提供更佳的附著力、低應力、快速製程與高重現性)
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詳細介紹
SQ VertiCoat 是 SQ SU-8 技術的進階版本，採用電子級環氧樹脂與改良溶劑配方，提供更高的可靠性與重現性。它能滿足厚膜製程需求，並在微機電與微流體領域展現卓越的加工性能，是 SU-8 3000 的最佳替代方案。
優異附著力：在矽、玻璃、金屬等基材上均有良好黏著性
低膜內應力：減少裂痕與變形，提升結構穩定性
高解析度：可製作高對比度、長寬比達 10:1 的結構
垂直側壁：適合 MEMS 與微流體裝置
環保配方：採用低毒性 MMP 溶劑與非 PFAS 表面活性劑
快速製程：乾燥快、顯影時間縮短，提升生產效率
光學透明度佳：400 nm 以上波段有良好透光性
 
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