Kemlab

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KL IR系列 影像反轉光阻

KL IR系列 影像反轉光阻

膜厚：1-2um
應用：各種用途
可取代： AZ® 5214 E
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詳細介紹
KL IR15影像反轉系列光阻可作為正型或負型光阻，適用於i-line、g-line和broadband應用。
IR15：當用作負型光阻時，設計為直壁輪廓
IR15 Lift-Off：當用作負型光阻時，設計為Lift-Off輪廓
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