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KL 7000 系列 不含PFAS的正型光阻

KL 7000 系列 不含PFAS的正型光阻

膜厚：0.5 – 2.0 μm
應用：IC製造
KL7000.jpg
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詳細介紹
KL7000 系列是適用於 i-line、g-line 和 broadband 的正型光阻。它們具有高靈敏度、高解析度和寬廣的製程範圍。KL7000系統的設計確保不含PFAS（全氟和多氟烷基物質）及任何含氟材料，以符合環保要求及嚴格的法規規範。
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