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K-PRO™系列 進階厚膜正型光阻

K-PRO™系列 進階厚膜正型光阻

膜厚:5 – 25+um
應用:先進封裝、電鍍、TSV、凸塊 (Bumping)
可取代: AZ®P4620、AZ®P4000 系列、AZ®9200 系列、AZ®10XT 系列、SPR™ 220-7.0
詳細介紹
K-PRO™ 光阻是適用於先進封裝的 i-Line、g-Line 和 broadband 的正型光阻。它們與鍍膜金屬(包括銅、純錫和鎳)兼容,並提供高靈敏度、高產能以及優異的製程範圍。K-PRO™正性光阻專為先進晶圓級封裝、MEMS及3D光刻應用的多樣化地形設計。