Kemlab

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KL 5300系列 薄膜通用正型光阻

KL 5300系列 薄膜通用正型光阻

膜厚： 0.2 – 2.0um
應用：IC製造
可取代： S1805™、 S1808™、 S1811™、S1813™、S1818™，AZ® 1500 Series
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詳細介紹
KL5300 系列是用於 i-Line、g-Line 和 broadband 的正型光阻。它們具有高靈敏度、高解析度和優異的製程範圍，並設計適用於業界標準的0.26 N TMAH顯影液。解析度可達0.55微米，並提供客製化配方。
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