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KL 6000系列 厚膜通用正型光阻
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KL 6000系列 厚膜通用正型光阻
膜厚:2.5 – 12um
應用:先進封裝、TSV、凸塊(Bumping)、電鍍
可取代: S1818™、S1821™、S1827™、SPR™ 220-4.5、SPR™ 220-7.0
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詳細介紹
KL6000 系列是用於 i-Line、g-Line 和 broadband 的正型光阻,它們具有高光靈敏度和優秀的製程條件容許性。為使用業界標準 0.26 N TMAH 顯影劑而設計,不需要PEB。
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